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極智芯(北京)科技有限公司 |
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極智芯(北京)科技有限公司 ,延承自航天部二院23所離子束技術、工藝及成套設備系統(tǒng)工程部 ,注冊于2018年6月4日 ,主要從事離子束技術和非硅微納制造技術的開發(fā)及應用。
公司具有完全自主知識產(chǎn)權的商售成套設備及工藝技術主要包括 ,離子束刻蝕系統(tǒng) 、國際流行的CAIBE(化學輔助離子束刻蝕)系統(tǒng)、雙離子束薄膜制造與改性系統(tǒng);反應離子刻蝕系統(tǒng)等標準型和非標設備 。這些成套設備及工藝研究成果主要進入了電子部 、兵器部、航天部 、中科院和國內一流大學等多家科研院所與制造單位 。用于多學科多領域的基礎、前沿課題跟蹤研究和應用研發(fā) ,而且特別突出為國家重大型號任務服務 。 |